LEADER 01936nam a2200277 i 4500
001 LibTUSUR0000039261
008 070723s1982 ru_a l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
245 0 0 |a Нитрид кремния в электронике/  |c В. И. Белый [и др.] ; ред. А. В. Ржанов; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников, Институт неорганической химии 
260 |a Новосибирск:  |b Наука  |c 1982 
300 |a 197, [3] с.:  |b a-ил. 
504 |a Библиогр.: с. 186-198 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a нитрид кремния 
653 0 |a электроника 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 539.2  |i Н 695  |p 215092  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 539.2  |i Н 695  |p 215093  |b аунл 
080 |a 539.219.23 
700 1 |a Белый, В. И.  |q Вячеслав Иванович  |4 aut 
700 1 |a Васильева, Л. Л.  |q Людмила Львовна  |4 aut 
700 1 |a Гриценко, В. А.  |q Владимир Алексеевич  |4 aut 
700 1 |a Гиновкер, А. С.  |q Андрей Самсонович  |4 aut 
700 1 |a Репинский, С. М.  |q Сергей Маркович  |4 aut 
700 1 |a Ржанов, А. В.  |q Анатолий Васильевич  |4 edt 
710 2 1 |a Академия наук СССР  |b Сибирское отделение21  |a Институт физики полупроводников21  |a Институт неорганической химии 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=539.2/Н 695-060314