Нитрид кремния в электронике/
| Main Authors: | Белый, В. И. Вячеслав Иванович (Author), Васильева, Л. Л. Людмила Львовна (Author), Гриценко, В. А. Владимир Алексеевич (Author), Гиновкер, А. С. Андрей Самсонович (Author), Репинский, С. М. Сергей Маркович (Author) |
|---|---|
| Corporate Author: | Академия наук СССР Сибирское отделение21 Институт физики полупроводников21 Институт неорганической химии |
| Other Authors: | Ржанов, А. В. Анатолий Васильевич (Editor) |
| Format: | Book |
| Published: |
Новосибирск:
Наука
1982
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Similar Items
-
Нитрид кремния в электронике
Published: (1982) -
Высокотемпературное газостатическое уплотнение нитрида кремния
by: Криль, Ярослав Антонович
Published: (1993) -
Азотирование ферросилиция в режиме горения и выделение нитрида кремния методом кислотного обогащения
by: Чухломина, Людмила Николаевна 1955- -
Высокотеплопроводные материалы в электронике СВЧ (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977-1987 гг.)
by: Мушкаренко, Юрий Николаевич
Published: (1988) - Взрывной синтез и спекание кубического нитрида кремния
