Нитрид кремния в электронике/
| Главные авторы: | Белый, В. И. Вячеслав Иванович (Автор), Васильева, Л. Л. Людмила Львовна (Автор), Гриценко, В. А. Владимир Алексеевич (Автор), Гиновкер, А. С. Андрей Самсонович (Автор), Репинский, С. М. Сергей Маркович (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Академия наук СССР Сибирское отделение21 Институт физики полупроводников21 Институт неорганической химии |
| Другие авторы: | Ржанов, А. В. Анатолий Васильевич (Редактор) |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Новосибирск:
Наука
1982
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Нитрид кремния в электронике
Публикация: (1982) -
Высокотемпературное газостатическое уплотнение нитрида кремния
по: Криль, Ярослав Антонович
Публикация: (1993) -
Азотирование ферросилиция в режиме горения и выделение нитрида кремния методом кислотного обогащения
по: Чухломина, Людмила Николаевна 1955- -
Высокотеплопроводные материалы в электронике СВЧ (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977-1987 гг.)
по: Мушкаренко, Юрий Николаевич
Публикация: (1988) - Взрывной синтез и спекание кубического нитрида кремния
