Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло/

Bibliographic Details
Main Authors:	Александров, Л. Н. Леонид Наумович (Author), Бочкова, Р. В. Раиса Васильевна (Author), Коган, А. Н. Алла Нахмановна (Author), Тихонова, Н. П. Нина Петровна (Author)
Corporate Author:	Академия наук СССР Сибирское отделение21 Институт физики полупроводников
Other Authors:	Стенин, С. И. (Editor)
Format:	Book
Published:	Новосибирск: Наука 1991
Subjects:	полупроводниковые пленки моделирование легирование Монте-Карло метод
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items