Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло/
| Main Authors: | , , , |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Новосибирск:
Наука
1991
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 165[3] с.: a-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 150-162. - Предм. указ.: с. 163-164 |
| ISBN: | 5020296961 |
