Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Александров, Л. Н. Леонид Наумович (Автор), Бочкова, Р. В. Раиса Васильевна (Автор), Коган, А. Н. Алла Нахмановна (Автор), Тихонова, Н. П. Нина Петровна (Автор)
Соавтор:	Академия наук СССР Сибирское отделение21 Институт физики полупроводников
Другие авторы:	Стенин, С. И. (Редактор)
Формат:	Книга
Публикация:	Новосибирск: Наука 1991
Предметы:	полупроводниковые пленки моделирование легирование Монте-Карло метод
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы