Технология тонкопленочных микросхем: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Чистоедова, И. А. (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2007
Subjects:	учебные пособия тонкие пленки микросхемы тонкопленочные интегральные микросхемы методические пособия
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items