Технология тонкопленочных микросхем: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
ТУСУР
2007
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 73 с.: a-табл. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 69-70 |