Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск:
ТУСУР
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |