APA (7th ed.) Citation

Смирнова, К. И. К. И. (2007). Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". ТУСУР.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Смирнова, К. И. Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Томск: ТУСУР, 2007.

MLA (8th ed.) Citation

Смирнова, К. И. Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". ТУСУР, 2007.