Процессы микро- и нанотехнологии: Учебное пособие/
| Main Author: | Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Author) |
|---|---|
| Corporate Author: | Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск:
ТУСУР
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Similar Items
-
Процессы микро- и нанотехнологии: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
by: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Published: (2007) -
Процессы микро- и нано-технологии: учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
by: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Published: (2006) -
Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах Сборник статей
Published: (1995) -
Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2005) -
Future and energing technologies embracing revolution
Published: (2009)
