Процессы микро- и нанотехнологии: Учебное пособие/
| Главный автор: | Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
ТУСУР
2007
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Процессы микро- и нанотехнологии: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2007) -
Процессы микро- и нано-технологии: учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2006) -
Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах Сборник статей
Публикация: (1995) -
Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2005) -
Future and energing technologies embracing revolution
Публикация: (2009)
