Процессы микро- и нанотехнологии: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/

Bibliographic Details
Main Author:	Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2007
Subjects:	учебные пособия микротехнологии нанотехнологии методические пособия практикумы самостоятельные работы
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items