Смирнова, К. И. К. И. (2007). Процессы микро- и нанотехнологии: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". ТУСУР.
Chicago Style (17th ed.) CitationСмирнова, К. И. Клара Ивановна. Процессы микро- и нанотехнологии: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Томск: ТУСУР, 2007.
MLA (8th ed.) CitationСмирнова, К. И. Клара Ивановна. Процессы микро- и нанотехнологии: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". ТУСУР, 2007.