Процессы микро- и нанотехнологии: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
| Главный автор: | Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
ТУСУР
2007
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Процессы микро- и нано-технологии: учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2006) -
Процессы микро- и нанотехнологии: Учебное пособие/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2007) -
Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат)/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2007) -
Современные микро- и нанотехнологии: учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника"/
по: Чистоедова, И. А. Инна Анатольевна
Публикация: (2022) -
Технология СБИС: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2007)
