Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат)/

Библиографическая информация
Главный автор: Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор)
Соавтор: Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат: Книга
Публикация: Томск: ТУСУР 2007
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР