Смирнова, К. И. К. И. (2007). Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат). ТУСУР.
Chicago-стиль цитированияСмирнова, К. И. Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат). Томск: ТУСУР, 2007.
MLA-цитированиеСмирнова, К. И. Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат). ТУСУР, 2007.