Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат)/

Bibliographic Details
Main Author:	Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2007
Subjects:	учебные пособия методические пособия практические пособия самостоятельные работы микроэлектроника тонкие пленки
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР


LEADER	06135nam a2200841 i 4500
001	LibTUSUR0000040890
008	081027s2007 ru_aa l000 0yrus d
040			\|a zaret \|b rus
100	1		\|a Смирнова, К. И. \|q Клара Ивановна \|4 aut
245	0	0	\|a Тонкие пленки в микроэлектронике: \|b Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат)/ \|c К. И. Смирнова; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
260			\|a Томск: \|b ТУСУР \|c 2007
300			\|a 49 с.: \|b a-ил.
504			\|a Библиогр.: с. 45
535	2		\|a Библиотека ТУСУР \|d https://lib.tusur.ru
653	0		\|a учебные пособия
653	0		\|a методические пособия
653	0		\|a практические пособия
653	0		\|a самостоятельные работы
653	0		\|a микроэлектроника
653	0		\|a тонкие пленки
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396912 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396913 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396914 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396915 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396916 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396917 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396918 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396919 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396920 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396921 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396922 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396924 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396925 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396927 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396931 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396932 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396934 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396936 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396937 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396939 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396940 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396941 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396942 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396943 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396944 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396945 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396946 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396947 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396948 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396949 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396950 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396951 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396952 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396953 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396954 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396955 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396956 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396957 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396958 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396959 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 431540 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396923 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396926 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396928 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396929 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396930 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396933 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396935 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396938 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i С 506 \|p 396960 \|b аунл
080			\|a 621.382.049.772.1(076)
710	2	1	\|a Федеральное агентство по образованию21 \|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
856			\|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР \|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/С 506-694958

Similar Items