Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/

Bibliographic Details
Main Author:	Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2008
Subjects:	учебные пособия методические пособия курсовые работы микроэлектроника тонкие пленки
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items