Смирнова, К. И. К. И. (2008). Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения. ТУСУР.
Chicago-стиль цитированияСмирнова, К. И. Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения. Томск: ТУСУР, 2008.
MLA-цитированиеСмирнова, К. И. Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения. ТУСУР, 2008.