Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
ТУСУР
2008
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 25 с.: a-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 12 |
