Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/

Библиографическая информация
Главный автор: Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор)
Соавтор: Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Формат: Книга
Публикация: Томск: ТУСУР 2008
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:25 с.: a-ил.
Библиография:Библиогр.: с. 12