Технология тонкопленочных микросхем: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Сахаров, Ю. В. (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2007
Subjects:	учебные пособия методические пособия лабораторные работы тонкие пленки микросхемы резистивные пленки проводящие пленки фотолитография тонкопленочные резисторы тонкопленочные конденсаторы p-n-переходы
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items