APA (7th ed.) Citation

Данилина, Т. И. Т. И., & Сахаров, Ю. В. (2007). Технология тонкопленочных микросхем: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". ТУСУР.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, and Ю. В Сахаров. Технология тонкопленочных микросхем: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Томск: ТУСУР, 2007.

MLA (8th ed.) Citation

Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, and Ю. В Сахаров. Технология тонкопленочных микросхем: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". ТУСУР, 2007.