Технология тонкопленочных микросхем: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Сахаров, Ю. В. (Автор)
Соавтор:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: ТУСУР 2007
Предметы:	учебные пособия методические пособия лабораторные работы тонкие пленки микросхемы резистивные пленки проводящие пленки фотолитография тонкопленочные резисторы тонкопленочные конденсаторы p-n-переходы
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Описание
Объем:	63 с.: a-ил.
Библиография:	Библиогр. в конце разд.

Похожие документы