Технологические процессы микроэлектроники: Учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Author:	Романовский, М. Н. Михаил Николаевич (Author)
Corporate Author:	Министерство образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра конструирования и производства радиоаппаратуры
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2002
Subjects:	учебные пособия микроэлектроника технологические процессы интегральные микросхемы подложки проводящие пленки проводники полупроводники диэлектрики литография
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items