|
|
|
|
| LEADER |
02047nam a2200301 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000042773 |
| 008 |
091127s2002 ru_aa l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Романовский, М. Н.
|q Михаил Николаевич
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Технологические процессы микроэлектроники:
|b Учебное пособие/
|c М. Н. Романовский; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
|
| 260 |
|
|
|a Томск:
|b ТУСУР
|c 2002
|
| 300 |
|
|
|a 190 с.:
|b a-ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 179-180
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a учебные пособия
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектроника
|
| 653 |
0 |
|
|a технологические процессы
|
| 653 |
0 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 653 |
0 |
|
|a подложки
|
| 653 |
0 |
|
|a проводящие пленки
|
| 653 |
0 |
|
|a проводники
|
| 653 |
0 |
|
|a полупроводники
|
| 653 |
0 |
|
|a диэлектрики
|
| 653 |
0 |
|
|a литография
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Р 695
|p 413390
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77.002(075.8)
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Министерство образования Российской Федерации21
|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21
|a Кафедра конструирования и производства радиоаппаратуры
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/Р 695-752066
|
