Технологические процессы микроэлектроники: Учебное пособие/

Библиографическая информация
Главный автор:	Романовский, М. Н. Михаил Николаевич (Автор)
Соавтор:	Министерство образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра конструирования и производства радиоаппаратуры
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: ТУСУР 2002
Предметы:	учебные пособия микроэлектроника технологические процессы интегральные микросхемы подложки проводящие пленки проводники полупроводники диэлектрики литография
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы