Исследование и оптимизация источников вакуумного ультрафиолетового излучения на основе плазмы инертных газов: Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. 01.04.05/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
СПб.
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004608102?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
