Исследование и оптимизация источников вакуумного ультрафиолетового излучения на основе плазмы инертных газов: Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. 01.04.05/

Библиографическая информация
Главный автор: Зверева, Г. Н. Галина Николаевна (Автор)
Соавтор: Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова
Другие авторы: Герасимов, Г. Н. Геннадий Николаевич
Формат: Книга
Публикация: СПб. 2010
Предметы:
Online-ссылка:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004608102?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР