Исследование и оптимизация источников вакуумного ультрафиолетового излучения на основе плазмы инертных газов: Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. 01.04.05/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
СПб.
2010
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004608102?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
