Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов: научное издание/

Bibliographic Details
Main Authors: Александров, В. К. Владимир Кузьмич (Author), Биенко, Ю. Н. (Author), Ильин, В. Н. (Author)
Corporate Author: Академия наук Белорусской ССР Институт электроники
Format: Book
Language:Russian
Published: Минск: Наука и техника 1988
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР