Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов: научное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы: Александров, В. К. Владимир Кузьмич (Автор), Биенко, Ю. Н. (Автор), Ильин, В. Н. (Автор)
Соавтор: Академия наук Белорусской ССР Институт электроники
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Минск: Наука и техника 1988
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР