Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
| Main Authors: | Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Чистоедова, И. А. Инна Анатольевна (Author) |
|---|---|
| Corporate Author: | Министерство образования и науки Российской Федерации21 Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий"21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск:
В-Спектр
2011
|
| Series: | Образовательная программа переподготовки
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Similar Items
-
Методы нанолитографии достижения и перспективы
Published: (2008) -
Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И., et al.
Published: (2010) -
Процессы и установки электронно-ионной технологии: учебное пособие для вузов/
by: Попов, В. Ф. Владимир Федорович, et al.
Published: (1988) -
Основы технологии сверхбольших интегральных схем: Пер. с яп./
by: Таруи, Я. Ясуо
Published: (1985) -
Ранняя русская литография из собрания Эрмитажа каталог выставки
Published: (1976)
