Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
| Главные авторы: | Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Чистоедова, И. А. Инна Анатольевна (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Министерство образования и науки Российской Федерации21 Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий"21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
В-Спектр
2011
|
| Серии: | Образовательная программа переподготовки
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Методы нанолитографии достижения и перспективы
Публикация: (2008) -
Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
по: Данилина, Т. И., et al.
Публикация: (2010) -
Процессы и установки электронно-ионной технологии: учебное пособие для вузов/
по: Попов, В. Ф. Владимир Федорович, et al.
Публикация: (1988) -
Основы технологии сверхбольших интегральных схем: Пер. с яп./
по: Таруи, Я. Ясуо
Публикация: (1985) -
Ранняя русская литография из собрания Эрмитажа каталог выставки
Публикация: (1976)
