Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
| Главные авторы: | , , |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
В-Спектр
2011
|
| Серии: | Образовательная программа переподготовки
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 262 с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 260-261 |
| ISBN: | 978591191203-1 |