Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие/

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главный автор:	Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович (Автор)
Соавтор:	Министерство образования и науки Российской Федерации21 Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий"21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: ТУСУР 2010
Серии:	Образовательная программа переподготовки
Предметы:	ИНФРАКРАСНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ЛАЗЕРНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ДИФРАКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Зондирующие методы исследований в материаловедении учебное пособие : [для студентов старших курсов университетов по направлениям подготовки бакалавров и магистров "Материаловедение и технология материалов", "Электроника и наноэлектроника", аспирантов по специальности "Физика конденсированного состояния"]
по: Карпасюк, Владимир Корнильевич
Публикация: (2014)

Методы исследования материалов и структур электроники: Учебное пособие/
по: Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович
Публикация: (2007)

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: лабораторный практикум/
по: Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович
Публикация: (2010)

Фотоэлектронная и Оже-спектроскопия
по: Карлсон, Томас А.
Публикация: (1981)

Spectroscopy of polymers
по: Koenig, Jack L.
Публикация: (1999)

Методы анализа поверхностей
Публикация: (1979)

Масс-спектрометрия резонансного захвата электронов и фотоэлектронная спектроскопия
Публикация: (1983)

Effect of Sn for the dislocation-free SiSn nanostructure formation on the vapor-liquid-crystal mechanism

Сканирующая зондовая микроскопия полупроводниковых материалов и наноструктур: Учебное пособие для вузов/
по: Рыков Сергей Александрович
Публикация: (2001)

Диагностика нанопорошков и наноматериалов учебное пособие
Публикация: (2022)

Multimodal optical diagnostics of glycated biological tissues

Введение в физику поверхности
Публикация: (2006)

Установление строения молекул физическими методами Учебное пособие для вузов, по направлению и специальности "Химия"
по: Панкратов, Алексей Николаевич
Публикация: (1995)

Аналитическая химия [учебник для студентов вузов, обучающихся по химико-технологическим направлениям и специальностям] : в 3 т.
Публикация: (2019)

Optical methods in diagnostics of liver fibrosis via blood observation

Экспериментальные методы физики твердого тела учебное пособие
по: Фомин, Дмитрий Владимирович
Публикация: (2019)

Изготовление, модифицирование и исследование материалов биомедицинского назначения сборник методических указаний
Публикация: (2022)

Физическое материаловедение [учебник для студентов вузов, обучающихся по направлению "Ядерные физика и технологии"] : в 7 т.
Публикация: (2012)

Изучение процесса окисления поверхности Pt3Ti (510) методом сканирующей туннельной микроскопии

Физические методы в химии В 2-х т.
по: Драго, Рассел
Публикация: (1981)

Спектроскопия потерь энергии отраженных электронов моносилицида железа

Исследование основных параметров мультиграфена, полученного методом CVD
по: Булатова, Алсу Наилевна

Лабораторные методы изучения минерального сырья учебное пособие
по: Синкина, Е. А. геолог доцент Томского политехнического университета, кандидат геолого-минералогических наук 1986-
Публикация: (2023)

Физические методы исследования в химии. Резонансные и электрооптические методы [Учебник для химических специальностей вузов]
по: Вилков, Лев Васильевич
Публикация: (1989)

Vibrational spectroscopy and theory of alkali metal adsorption and co-adsorption on single-crystal surfaces

Лабораторные методы изучения минерального сырья учебное пособие
по: Синкина, Е. А. геолог доцент Томского политехнического университета, кандидат геолого-минералогических наук 1986-
Публикация: (2023)

Спектрометрическая идентификация органических соединений
по: Сильверстейн, Роберт М.
Публикация: (1977)

Химическое строение покрытий, осажденных при активации гексаметилдисилоксана в тлеющем разряде в потоке газа

Analytical techniques for atmospheric measurement
Публикация: (2006)

Экспериментальные методы в исследовании конденсированного состояния (03.03.02) электронный курс
по: Панин, А. В. физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук 1971-
Публикация: (2024)

Определение строения органических соединений таблицы спектральных данных
по: Преч, Эрне
Публикация: (2006)

Silver nanoparticles obtained by laser ablation as the active component of Ag/SiO2 catalysts for CO oxidation

Применение УФ-, ИК-, ЯМР-, и масс-спектроскопии в органической химии Учебное пособие для студентов химических специальностей университетов
по: Казицына, Лидия Александровна
Публикация: (1979)

Современные физические методы в геохимии [учебник для студентов вузов по специальности "Геохимия, минералогия и петрология"
Публикация: (1990)

Фотоионизационная спектроскопия молекул
по: Акопян, Михаил Евгеньевич
Публикация: (1996)

Optical properties and spectroscopy of nanomaterials
по: Zhang, Jin Z.
Публикация: (2009)

Спектрометрическая идентификация органических соединений
по: Сильверстейн, Роберт 1916-2007
Публикация: (2012)

Инфракрасная спектроскопия карбонатных минералов учебное пособие
по: Коровкин, М. В. геофизик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук главный эксперт центра качества Томского технологического института 1952-
Публикация: (2012)

Developing a multimethodological approach to cancer biopsy

Физические методы исследования объектов окружающей среды: Учебное пособие /
по: Смирнов, Г. В. Геннадий Васильевич, et al.
Публикация: (2007)