Кинетика и механизм термического окисления кремния: научное издание/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Воронеж:
Издательство Воронежского университета
1983
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |