Skip to content
  • Language
    • English
    • Русский

Advanced
  • Учебное пособие по дисциплине...
  • Cite this
  • Print
  • Export Record
    • Export to RefWorks
    • Export to EndNoteWeb
    • Export to EndNote
  • Permanent link
Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем": учебное пособие/

Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем": учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors: Тимошенков, С. П. Сергей Петрович (Author), Калугин, В. В. Виктор Владимирович (Author)
Corporate Author: Министерство образования и науки Российской Федерации21 Национальный исследовательский университет "МИЭТ"(М.)
Format: Book
Published: М.: МИЭТ 2011
Series:Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
Subjects:
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
МИКРОСИСТЕМЫ
НАНОСИСТЕМЫ
ЛИТОГРАФИЯ
ТЕХНОЛОГИЯ МОНТАЖА
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
  • Holdings
  • Description
  • Similar Items
  • Staff View

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

  • Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника]
    by: Тимошенков, Сергей Петрович 1957-
    Published: (2011)
  • Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника]
    by: Тимошенков, Сергей Петрович 1957-
    Published: (2011)
  • Micro process engineering fundamentals, devices, fabrication, and applications
    Published: (2006)
  • Примерная программа учебной дисциплины "Технология наносистем": учебные программы/
    Published: (2011)
  • Исследование оптических свойств одномерных и двумерных кремниевых нано- и микроструктур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.05/
    by: Дьяков, С. А. Сергей Александрович
    Published: (2012)
|   Advanced Search   |   Search Tips   |

Большой университет Томска
https://university-tomsk.ru/
Loading...