Пропуск в контексте
  • Язык
    • English
    • Русский

Расширенный поиск
  • Поиск
  • Учебное пособие по дисциплине...
  • Цитировать
  • Печать
  • Запись для экспорта
    • Экспорт в RefWorks
    • Экспорт в EndNoteWeb
    • Экспорт в EndNote
  • Permanent link
Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем": учебное пособие/

Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем": учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы: Тимошенков, С. П. Сергей Петрович (Автор), Калугин, В. В. Виктор Владимирович (Автор)
Соавтор: Министерство образования и науки Российской Федерации21 Национальный исследовательский университет "МИЭТ"(М.)
Формат: Книга
Публикация: М.: МИЭТ 2011
Серии:Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
Предметы:
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
МИКРОСИСТЕМЫ
НАНОСИСТЕМЫ
ЛИТОГРАФИЯ
ТЕХНОЛОГИЯ МОНТАЖА
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
  • Фонды
  • Описание
  • Похожие документы
  • Marc-запись

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

  • Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника]
    по: Тимошенков, Сергей Петрович 1957-
    Публикация: (2011)
  • Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника]
    по: Тимошенков, Сергей Петрович 1957-
    Публикация: (2011)
  • Micro process engineering fundamentals, devices, fabrication, and applications
    Публикация: (2006)
  • Примерная программа учебной дисциплины "Технология наносистем": учебные программы/
    Публикация: (2011)
  • Исследование оптических свойств одномерных и двумерных кремниевых нано- и микроструктур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.05/
    по: Дьяков, С. А. Сергей Александрович
    Публикация: (2012)
|   Расширенный поиск   |   Советы для поиска   |

Большой университет Томска
https://university-tomsk.ru/
Загрузка...