Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./ Ч. 1, Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование/М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева

Библиографическая информация
Главные авторы:	Королев, М. А. Михаил Александрович (Автор), Крупкина, Т. Ю. Татьяна Юрьевна (Автор), Ревелева, М. А. Марина Александровна (Автор)
Другие авторы:	Чаплыгин, Ю. А. (Редактор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2010
Серии:	Электроника
Предметы:	ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ ДИФФУЗИЯ ЭПИТАКСИЯ ЛЕГИРОВАНИЕ ЛИТОГРАФИЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ ФОТОЛИТОГРАФИЯ УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы