Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ Т. 1, Физико-химические основы технологии микроэлектроники/Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова

Bibliographic Details
Main Authors: Чистяков, Ю. Д. Юрий Дмитриевич (Author), Райнова, Ю. П. Юлия Петровна (Author)
Other Authors: Коркишко, Ю. Н. (Editor)
Format: Book
Published: М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2010
Series:Нанотехнологии
Subjects:
ГЕТЕРОГЕННОЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЕ
РЕАКЦИОННАЯ КОНДЕНСАЦИЯ
ФИЗИЧЕСКАЯ КОНДЕНСАЦИЯ
ПРОЦЕССЫ ОКИСЛЕНИЯ
ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ
ЭПИТАКСИЯ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ
ЭЛЕКТРОЛИТОГРАФИЯ
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items