Чистяков, Ю. Д. Ю. Д., Райнова, Ю. П. Ю. П., & Коркишко, Ю. Н. (2010). Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. БИНОМ. Лаборатория знаний.
Chicago-стиль цитированияЧистяков, Ю. Д. Юрий Дмитриевич, Ю. П. Юлия Петровна Райнова, and Ю. Н Коркишко. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010.
MLA-цитированиеЧистяков, Ю. Д. Юрий Дмитриевич, et al. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.