Чистяков, Ю. Д. Ю. Д., Райнова, Ю. П. Ю. П., & Коркишко, Ю. Н. (2010). Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. БИНОМ. Лаборатория знаний.
Chicago Style (17th ed.) CitationЧистяков, Ю. Д. Юрий Дмитриевич, Ю. П. Юлия Петровна Райнова, and Ю. Н Коркишко. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010.
MLA (8th ed.) CitationЧистяков, Ю. Д. Юрий Дмитриевич, et al. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.