|
|
|
|
| LEADER |
05511nam a2200865 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000057560 |
| 008 |
130122s2010 ru_aa l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|a 978599630335-9
|c р330.00
|
| 040 |
|
|
|a zaret
|b rus
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий:
|b учебное пособие для вузов: в 2 т./
|c ред. Ю. Н. Коркишко.
|n Т. 1,
|p Физико-химические основы технологии микроэлектроники/Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b БИНОМ. Лаборатория знаний
|c 2010
|
| 300 |
|
|
|a 392 с.:
|b a-рис.
|
| 440 |
|
0 |
|a Нанотехнологии
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 386-389
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a ГЕТЕРОГЕННОЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЕ
|
| 653 |
0 |
|
|a РЕАКЦИОННАЯ КОНДЕНСАЦИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a ФИЗИЧЕСКАЯ КОНДЕНСАЦИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a ПРОЦЕССЫ ОКИСЛЕНИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ
|
| 653 |
0 |
|
|a ЭПИТАКСИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a ЭЛЕКТРОЛИТОГРАФИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440805
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440806
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440807
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440808
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440809
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440810
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440811
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440812
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440813
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440814
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440815
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440816
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440817
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440818
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440819
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440820
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440821
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440822
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440823
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440824
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440825
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440826
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440827
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440828
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440829
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440830
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440831
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440832
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440833
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440834
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440835
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440836
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440837
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440838
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440839
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440840
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440841
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440842
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440843
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440844
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440845
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440846
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440847
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440848
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 620.3
|i В 240
|p 440849
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 620.3(075.8)
|a 621.382(075.8)
|a 53:54
|
| 700 |
1 |
|
|a Чистяков, Ю. Д.
|q Юрий Дмитриевич
|4 aut
|
| 700 |
1 |
|
|a Райнова, Ю. П.
|q Юлия Петровна
|4 aut
|
| 700 |
1 |
|
|a Коркишко, Ю. Н.
|4 edt
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=620.3/В 240-558204844
|
