Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ Т. 1, Физико-химические основы технологии микроэлектроники/Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
БИНОМ. Лаборатория знаний
2010
|
| Серии: | Нанотехнологии
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
