Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ Т. 1, Физико-химические основы технологии микроэлектроники/Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
| Главные авторы: | Чистяков, Ю. Д. Юрий Дмитриевич (Автор), Райнова, Ю. П. Юлия Петровна (Автор) |
|---|---|
| Другие авторы: | Коркишко, Ю. Н. (Редактор) |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
БИНОМ. Лаборатория знаний
2010
|
| Серии: | Нанотехнологии
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
по: Акуленок, М. В. Марина Викторовна, et al.
Публикация: (2011) -
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн..
по: Мартынов Валерий Владимирович, et al.
Публикация: (1990) -
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Публикация: (2010) -
Исследование укрепляющего эффекта парциальной кондесации при недиабатической ректификации
по: Дерягина, Нина Владимировна - Процессы переноса на межфазных поверхностях конденсат – пар: достижения и проблемы
