Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ Т. 1, Физико-химические основы технологии микроэлектроники/Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова

Bibliographic Details
Main Authors: Чистяков, Ю. Д. Юрий Дмитриевич (Author), Райнова, Ю. П. Юлия Петровна (Author)
Other Authors: Коркишко, Ю. Н. (Editor)
Format: Book
Published: М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2010
Series:Нанотехнологии
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items