Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ Т. 1, Физико-химические основы технологии микроэлектроники/Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
| Main Authors: | Чистяков, Ю. Д. Юрий Дмитриевич (Author), Райнова, Ю. П. Юлия Петровна (Author) |
|---|---|
| Other Authors: | Коркишко, Ю. Н. (Editor) |
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
БИНОМ. Лаборатория знаний
2010
|
| Series: | Нанотехнологии
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Similar Items
-
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
by: Акуленок, М. В. Марина Викторовна, et al.
Published: (2011) -
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн..
by: Мартынов Валерий Владимирович, et al.
Published: (1990) -
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Published: (2010) -
Исследование укрепляющего эффекта парциальной кондесации при недиабатической ректификации
by: Дерягина, Нина Владимировна - Процессы переноса на межфазных поверхностях конденсат – пар: достижения и проблемы
