Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ Т. 1, Физико-химические основы технологии микроэлектроники/Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова

Библиографическая информация
Главные авторы: Чистяков, Ю. Д. Юрий Дмитриевич (Автор), Райнова, Ю. П. Юлия Петровна (Автор)
Другие авторы: Коркишко, Ю. Н. (Редактор)
Формат: Книга
Публикация: М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2010
Серии:Нанотехнологии
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР