Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ Т. 2, Технологические аспекты/М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов

Библиографическая информация
Главные авторы:	Акуленок, М. В. Марина Викторовна (Автор), Андреев, В. М. Владимир Михайлович (Автор), Громов, Д. Г. Дмитрий Геннадьевич (Автор)
Другие авторы:	Коркишко, Ю. Н. (Редактор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2011
Серии:	Нанотехнологии
Предметы:	ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ВАКУУМТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ НАПРАВЛЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ЛИТОГРАФИЯ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы