Акуленок, М. В. М. В., Андреев, В. М. В. М., Громов, Д. Г. Д. Г., & Коркишко, Ю. Н. (2011). Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. БИНОМ. Лаборатория знаний.
Chicago-стиль цитированияАкуленок, М. В. Марина Викторовна, В. М. Владимир Михайлович Андреев, Д. Г. Дмитрий Геннадьевич Громов, and Ю. Н Коркишко. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011.
MLA-цитированиеАкуленок, М. В. Марина Викторовна, et al. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.