Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ Т. 2, Технологические аспекты/М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов

Bibliographic Details
Main Authors: Акуленок, М. В. Марина Викторовна (Author), Андреев, В. М. Владимир Михайлович (Author), Громов, Д. Г. Дмитрий Геннадьевич (Author)
Other Authors: Коркишко, Ю. Н. (Editor)
Format: Book
Published: М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2011
Series:Нанотехнологии
Subjects:
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ВАКУУМТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
НАПРАВЛЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ЛЕГИРОВАНИЕ
ЛИТОГРАФИЯ
РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ
ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 05679nam a2200913 i 4500
001 LibTUSUR0000057561
008 130122s2011 ru_a l000 0yrus d
020 |a 978599630336-6  |c р278.30 
040 |a zaret  |b rus 
245 0 0 |a Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий:  |b учебное пособие для вузов: в 2 т./  |c ред. Ю. Н. Коркишко.  |n Т. 2,  |p Технологические аспекты/М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов 
260 |a М.:  |b БИНОМ. Лаборатория знаний  |c 2011 
300 |a 252 с.:  |b a-ил. 
440 0
440 0 |a Нанотехнологии 
504 |a Библиогр.: с. 245-248 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ 
653 0 |a ВАКУУМТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ 
653 0 |a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ 
653 0 |a НАПРАВЛЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ 
653 0 |a ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ 
653 0 |a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ 
653 0 |a СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ 
653 0 |a ЛЕГИРОВАНИЕ 
653 0 |a ЛИТОГРАФИЯ 
653 0 |a РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ 
653 0 |a ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ 
653 0 |a УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440850  |b счз1 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440851  |b счз1 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440852  |b счз1 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440853  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440854  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440855  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440856  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440857  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440858  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440859  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440860  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440861  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440862  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440863  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440864  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440865  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440866  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440867  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440868  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440869  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440870  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440871  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440872  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440873  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440874  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440875  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440876  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440877  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440878  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440879  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440880  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440881  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440882  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440883  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440884  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440885  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440886  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440887  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440888  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440889  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440890  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440891  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440892  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440893  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 620.3  |i В 240  |p 440894  |b аунл 
080 |a 620.3(075.8)  |a 621.382(075.8)  |a 53:54(075.8) 
700 1 |a Акуленок, М. В.  |q Марина Викторовна  |4 aut 
700 1 |a Андреев, В. М.  |q Владимир Михайлович  |4 aut 
700 1 |a Громов, Д. Г.  |q Дмитрий Геннадьевич  |4 aut 
700 1 |a Коркишко, Ю. Н.  |4 edt 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=620.3/В 240-626188833 

Similar Items